Spezialgasventile.
Entwickelt für Reinheit.
Valonix baut ultrahochreine Membranventile, Hochdruckgasventile, Rückschlagventile und Verteilertafeln für Halbleiter-Fabs, Photovoltaik-Linien und Labore. Durchsuchen Sie das Sortiment unten.
Spezialgasventile, bereit zur Spezifikation
Echte Modelle mit Anschlussgrößen, Druckstufen und Cv direkt angezeigt. Filtern nach Familie oder vollständigen Katalog öffnen.
Noch kein Katalogmodell für diese Familie vorhanden. Nennen Sie uns Gas, Druck und Durchfluss und unsere Ingenieure spezifizieren das passende Ventil.
VX4-LPVX4 Niederdruck-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8
- Max. Druck300 PSI
- Cv0.27
VX4H-HPVX4H Hochdruck-Membranventil
- Anschlussgröße1/4
- Max. Druck4500 PSI
- Cv0.20
VX8-LPVX8 Niederdruck-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1/2
- Max. Druck300 PSI
- Cv0.70
VT423VT423 Drei-Wege-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 1/2
- Max. Druck300 PSI
- Cv0.3
CV20LCV20L Hochdruck-Pneumatikventil
- Anschlussgröße3/8, 1/2, 3/4
- Max. Druck20 MPa
- CvAuf Anfrage
VMUVMU Hochreines Dosierventil
- Anschlussgröße1/4, 1/2, 6mm
- Max. Druck700 PSI
- CvDosierspindel 0.019
VX8H-HPVX8H Hochdruck-Membranventil
- Anschlussgröße1/2
- Max. Druck3500 PSI
- Cv0.80
VX12-LPVX12 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße3/4
- Max. Druck300 PSI
- Cv2.8
VX16-LPVX16 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1 Zoll
- Max. Druck300 PSI
- Cv3.5
VP20VP20 Hochdruck-Leitungs-Membranventil
- Anschlussgröße3/8, 1/4
- Max. Druck20 MPa
- CvAuf Anfrage
VB-HPVB-HP Balgdichtungsventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 6 mm, 8 mm
- Max. Druck350 PSI
- Cv0.3
VB8VB8 Niederdruck-Balgdichtungsventil
- Anschlussgröße1/2, 3/8, 10 mm, 12 mm
- Max. Druck500 PSI
- Cv0.80
VB4VB4 Niederdruck-Balgdichtungsventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 6 mm, 8 mm
- Max. Druck500 PSI
- Cv0.3
VMGVMG Präzisions-Dosierventil
- Anschlussgröße1/4, 1/2, 6mm
- Max. Druck700 PSI
- CvDosierspindel 0.019
BIBI Instrumentenkugelventil
- Anschlussgröße1/4, 1/2
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
B3HB3H Dreiteiliges Hochdruck-Kugelventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 1/2
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
BVIBVI Integralkörper-Kugelventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 1/2
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
B3WB3W Drei-Wege-Kugelventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 1/2
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
BWBW Schweißgehäuse-Kugelventil
- Anschlussgröße1/2, 3/4, 1
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
CWCW Rückschlagventil mit geringem Öffnungsdruck
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 6-12mm
- Max. Druck300 PSI
- CvAuf Anfrage
CHCH Hochdruck-Rückschlagventil
- Anschlussgröße1/4, 1/2, 3/4
- Max. Druck6000 PSI
- CvAuf Anfrage
CVCV Hochreines Rückschlagventil
- Anschlussgröße1/4
- Max. Druck3000 PSI
- CvAuf Anfrage
NVNV Hochreines Nadelventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 1/2
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
RVRV Hochreines Entlastungsventil
- AnschlussgrößeAuf Anfrage
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
WRVWRV Verstellbares Entlastungsventil
- Anschlussgröße1/4
- Max. Druck1000 PSI
- CvAuf Anfrage
UCV20UCV20 CGA/DISS Flaschenventil
- AnschlussgrößeAuf Anfrage
- Max. Druck20 MPa
- CvAuf Anfrage
CV20ACV20A Pneumatisches Flaschenventil
- Anschlussgröße3/4
- Max. Druck20 MPa
- CvAuf Anfrage
Seitlich wischen, um alle Ventiltypen zu sehen →
Auf Reinheit ausgelegt, nicht nur auf Druckstufen
Ein Spezialgasventil ist nur so rein wie sein schwächster Fertigungsschritt. Wir spezifizieren 316L-Gehäuse mit geringem Einschlussgehalt aus VIM/VAR, elektropolierte medienberührte Flächen, Metallmembran- oder Balgabsperrung und Helium-Lecktests als einziges Paket.
- Metallmembran-Absperrung — keine Spindelpackung im Gaskanal
- Elektropolierte medienberührte Flächen und geregelter schwefelarmer Werkstoff
- VCR-Flächendichtung, Stumpfschweißung und CGA/DISS-Anschlussoptionen
- Manuelle und normal geschlossene pneumatische Betätigung
- Reinraum-Montage und Doppelbeutel-Verpackung
Technische Hinweise für Gasanlagen-Planer
So wählen Sie ein Spezialgasventil
Ein praktischer Auswahlleitfaden für Spezialgasventile: Gasverträglichkeit, Druck, Cv
Membranventil gegen Balgventil
Vergleich von UHP-Membranventilen und Balgdichtungsventilen für Spezialgas: Totvolumen
UHP-Ventil-Heliumleckraten-Standard
Wie die Helium-Massenspektrometer-Dichtheitsprüfung für UHP-Ventile spezifiziert wird: inboard gegen
316L VIM/VAR Edelstahl für UHP-Ventile
Was VIM/VAR-Raffination in 316L-Edelstahl für ultrahochreine Ventile verändert
VCR-Flächendichtung gegen Klemmverbindung
Vergleich von VCR-Flächendichtungen und Klemmverbindungen für Spezialgasleitungen: Dichtintegrität
Cv-Durchflussbeiwert in Membranventilen
Cv in UHP-Membranventilen verstehen: wie die Sitzgröße den Durchfluss ändert
Wo unsere Ventile installiert werden
Sieben Gasversorgungsumgebungen, ein einheitlicher medienberührter Standard — vom Flaschenschrank bis zum Verbrauchspunkt.
Halbleiter-Fab-Gasversorgung
UHP-Membranventile, Regler und VMB-Panels für Silane, NF3, NH3 und Dotierstoffleitungen, vom Gaslager bis zum Verbrauchspunkt.
Anwendung ansehen →02 / 07Photovoltaik- und Solarzellen-Fertigung
Hochdurchfluss-UHP-Ventile für Silane, Ammoniak und Lachgas-Verteilung an PECVD-, Diffusions- und Dünnschicht-Linien.
Anwendung ansehen →03 / 07MOCVD- und LED-Prozessgas
Geringes Totvolumen Umschalt-, Dosier- und UHP-Ventile für metallorganische Precursor, Hydride und Wasserstoff-Trägergaszweige.
Anwendung ansehen →04 / 07Labor- und Analysegeräte-Gas
Geringes Totvolumen Absperr-, Dosier- und Rückschlagventile für GC, ICP, Massenspektrometrie und Kalibriergassysteme.
Anwendung ansehen →05 / 07Wasserstoff- und Brennstoffzellen-Hochdruckventile
20 MPa Membran-, Rückschlag- und Flaschenventile für Speicherbänke, Rohranzänger, Betankungs-Skids und Brennstoffzellen-Prüfstände.
Anwendung ansehen →06 / 07Korrosive und toxische Spezialgase
Balgdichtungs- und Membranventile mit verträglichen Legierungen für SiH4, NH3, HCl, Cl2 und NF3 Betrieb, im Verriegelungsfall normal geschlossen.
Anwendung ansehen →07 / 07Flaschenschränke und Massengas-Verteilung
Flaschenventile, Hochdruck-Absperrung, Regler und Umschaltbaugruppen für Gasschränke und Massen-Sammelrohre.
Anwendung ansehen →+ / SONDERANFERTIGUNGIhr Prozess nicht aufgeführt?
Senden Sie Gasliste, Druck und Durchfluss. Wir bestätigen Ventilfamilie, medienberührte Werkstoffe und Endanschlüsse für Ihre Leitung.
Fragen Sie einen Ingenieur →Häufig gestellte Fragen
Kurze Antworten zu Ventilauswahl, Betätigung und Endanschlüssen. Für ein bestimmtes Gas, Druck oder Durchfluss bestätigen unsere Ingenieure das genaue Modell.
Fragen Sie einen Ingenieur → Alle 8 Fragen lesen →01Was ist ein Spezialgasventil?
Ein Spezialgasventil ist ein Absperr-, Umschalt- oder Durchflussregelventil, gebaut für hochreine, korrosive, toxische oder pyrophore Gase. Im Vergleich zu einem allgemeinen Industrieventil verwendet es Einschluss-armen Edelstahl, eine Metallmembran oder Balgdichtung, elektropolierte medienberührte Flächen, Helium-Lecktests und Reinraumverpackung.
02Welcher Ventiltyp ist für UHP-Gasleitungen am besten?
Ein UHP-Membranventil ist die Standardwahl: die Metallmembran trennt den Antrieb vom Gaskanal, das Innenvolumen ist gering und es gibt keine Spindelpackung, die ausgast.
03Was ist der Unterschied zwischen Spezialgas und Industriegas?
Spezialgase werden mit hoher Reinheit geliefert oder sind reaktiv, korrosiv, toxisch oder pyrophor. Ihre Versorgungssysteme benötigen deutlich strengere Kontrollen bei Leckage, Sauberkeit und Werkstoffen als Massenindustriegase wie Stickstoff oder Druckluft.
04Bieten Sie manuelle und pneumatische Versionen an?
Ja. Die meisten Ventilfamilien sind mit einem Handrad oder einem normal geschlossenen Pneumatikantrieb verfügbar. Pneumatikversionen tragen allgemein eine niedrigere maximale Druckstufe als die Handversion.
05Welche Endanschlüsse sind verfügbar?
VCR-Flächendichtungen, orbitale Stumpfschweißung, Klemmverbindungen und Gewinde- oder CGA/DISS-Flaschenanschlüsse, je nach Modell.
Nennen Sie uns Gas, Druck und Durchfluss
Wir bestätigen Ventiltyp, medienberührte Werkstoffe, Endanschlüsse und Betätigung für Ihre Leitung.
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