UHP-Membranventile
Ein Ultrahochreinheits-Membranventil ist das Standard-Abschließorgan in einem Spezialgas-Verteilungssystem. Anders als ein gepacktes Ventil berührt das Prozessgas nie eine gleitende Spindeldichtung: Eine Metallmembran isoliert den Antrieb vom Strömungsweg, sodass Partikelbildung und Totvolumen äußerst gering bleiben.
Ventile in dieser Kategorie
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VX4-LPVX4 Niederdruck-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8
- Max. Druck300 PSI
- Cv0.27
VX8-LPVX8 Niederdruck-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1/2
- Max. Druck300 PSI
- Cv0.70
VX12-LPVX12 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße3/4
- Max. Druck300 PSI
- Cv2.8
VX16-LPVX16 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1 Zoll
- Max. Druck300 PSI
- Cv3.5
VP20VP20 Hochdruck-Leitungs-Membranventil
- Anschlussgröße3/8, 1/4
- Max. Druck20 MPa
- CvAuf Anfrage
Valonix-UHP-Membranventile basieren auf 316L VIM/VAR-Edelstahlstangenmaterial, elektropolierten medienberührten Flächen und Flächendichtungs- oder Stumpfschweiß-Endanschlüssen. Sie sind für die Anlagenanbindung in Halbleiterfabriken, Gasschränke, Ventilverteilerkästen und hochreine Laborleitungen ausgelegt, wo Feuchtigkeit, Sauerstoff und Partikelkontamination kontrolliert werden müssen.
Warum eine Membranbauweise für ultrahochreines Gas
Die Membran bildet eine hermetische Barriere zwischen Prozessstrom und Antrieb. Es gibt keine Packung, die ausgast, kein Schmiermittel im Gasweg und keinen Hohlraum, der zwischen Zyklen Prozessgas einschließt. Ein kurzer, glatter Strömungsweg macht auch das Spülen schnell, was beim Wechsel zwischen reaktiven Gasen wie Silan, Ammoniak oder Chlorwasserstoff entscheidend ist.
- Metallmembran-Absperrung ohne Spindelpackung im medienberührten Kanal
- Geringes Innenvolumen für schnelles Spülen und geringen Carry-over
- Elektropolierte medienberührte Flächen gegen Feuchtigkeitsrückhalt
- Flächendichtung, Stumpfschweißung oder Klemm-Endanschlüsse
Werkstoffe und Oberflächengüte
Der Gehäusewerkstoff ist 316L VIM/VAR-Edelstahl für geringen Einschlussgehalt und gleichmäßige Korrosionsbeständigkeit. Die medienberührten Flächen werden elektropoliert, dann gereinigt, getrocknet und für die Reinraummontage doppelt verpackt. Das Membranmaterial wird nach Gasverträglichkeit gewählt: 316L für den allgemeinen Hochreinheitsbetrieb und Nickel-basierte Legierungen für aggressive Halogenide.
- 316L VIM/VAR Gehäuse, niedrig Schwefel und Einschlüsse
- Elektropolierter innerer Durchflusskanal
- Heliumgeprüft vor Auslieferung
- Reinraum-Montage und Doppelbeutel-Verpackung
Den richtigen Durchflussbeiwert wählen
Passen Sie den Cv an den erforderlichen Durchfluss an, statt das Ventil zu überdimensionieren. Ein 1/4-in-Sitz mit Cv 0.27 eignet sich für die Absperrung am Verbrauchspunkt; Körper mit 1/2 in und 3/4 in sowie Cv 0.70-2.8 dienen Zweigleitungen; ein 1-in-Körper mit Cv 3.5 gehört an einen Hauptverteilungsstrang. Überdimensionierte Ventile erhöhen das Totvolumen und verlangsamen Spülzyklen.
- Cv 0.20-0.27: Absperrung am Verbrauchspunkt und an Instrumenten
- Cv 0.70-0.80: Zweig- und Panelleitungen
- Cv 2.8-3.5: Sammelrohre und Hochdurchfluss-Verteilung
Typische Spezifikationen
| Gehäusematerial | 316L VIM/VAR Edelstahl |
|---|---|
| Anschlussgrößen | 1/4", 3/8", 1/2", 3/4", 1" |
| Endanschlüsse | VCR-Flächendichtung, Stumpfschweißung, Klemmverbindung |
| Betriebsdruck | 300 PSI Standard / bis 4500 PSI Hochdruck |
| Dichtheitsprüfung | Helium-Massenspektrometer, Inboard und über Sitz |
| Betätigung | Manueller Drehknopf oder pneumatisch, normal geschlossen |
Häufig gestellte Fragen
Was bedeutet UHP für ein Membranventil?
UHP (ultra high purity) bezieht sich auf Bauweise und Reinheit: einschlussarmes 316L VIM/VAR Material, elektropolierte medienberührte Flächen, Helium-Dichtheitsprüfung und Reinraum-Verpackung, nicht nur auf eine Druckstufe.
Können UHP-Membranventile korrosive Spezialgase bewältigen?
Ja, wenn Membran- und Gehäuselegierung auf das Gas abgestimmt sind. Halogenid- und Hydrid-Dienste nutzen häufig Nickellegierungs-Membranen; bestätigen Sie die Verträglichkeit vor der Bestellung.
Welchen Endanschluss sollte ich wählen?
VCR-Flächendichtungen geben die sauberste, wiederholbarste Metall-auf-Metall-Dichtung für den Tool-Anschluss. Stumpfschweißungen werden für dauerhafte hochreine Sammelrohre bevorzugt, Klemmverbindungen eignen sich für feldmontierte Instrumentenleitungen.