Spezialgasventil-Anwendungen
Unterschiedliche Gase und Prozesse stellen unterschiedliche Anforderungen an Ventile. Diese Leitfäden behandeln Ventiltypen, Werkstoffe und Sicherheitszustands-Logik je Branche.
Halbleiter-Fab-Gasversorgung
UHP-Membranventile, Regler und VMB-Panels für Halbleiter-Fab-Gasversorgung: Silane, NF3, NH3
Photovoltaik- und Solarzellen-Fertigung
Hochreine Ventile für Photovoltaik-Zellenlinien: Silane-, Ammoniak- und Lachgas-Versorgung für PECVD, Diffusion und Dünnschichtabscheidung.
MOCVD- und LED-Prozessgas
UHP-Ventile für MOCVD- und LED-Produktion: metallorganische Precursor-Leitungen, Ammoniak, Hydride und Trägerwasserstoff mit schneller Spulumschaltung.
Labor- und Analysegeräte-Gas
Hochreine Ventile für GC, ICP, Massenspektrometrie und Kalibriergassysteme: geringes Totvolumen
Wasserstoff- und Brennstoffzellen-Hochdruckventile
Hochdruckventile für Wasserstofflagerung, Rohranzänger und Brennstoffzellen-Prüfstände: 20 MPa Betrieb, niedrige Leckrate
Korrosive und toxische Spezialgase
Ventilauswahl für SiH4, NH3, HCl, Cl2 und NF3: Balgdichtungs- und Membranventile, verträgliche Legierungen, normal geschlossener Sicherheitszustand.
Flaschenschränke und Massengas-Verteilung
Ventile für Flaschenschränke, Gaslager und Massenverteilung: Flaschenventile, Hochdruck-Absperrung, Regler