Gasventileverteiler und VMB

Valonix baut diese Baugruppen um UHP-Membranventile, hochreine Regler, Rückschlagventile und Drei-Wege-Umschaltventile, sodass die medienberührten Komponenten einen Reinheitsstandard teilen.

Automatische Umschaltung

Doppelgasflaschen-Umschaltssysteme wechseln von der Betriebs- zur Reservegasflasche, ohne die Versorgung der Anlage zu unterbrechen. Die Druckabtastung löst den Wechsel aus, und eine Spülabfolge reinigt den umgeschalteten Zweig, bevor er in Betrieb geht. Eine unterbrechungsfreie Versorgung ist für Anlagen in Fabriken entscheidend, in denen eine ungeplante Gasunterbrechung eine Wafer-Charge ausschuss macht.

• Betrieb/Reserve-Flaschenumschaltung
• Automatische oder manuelle Umschaltung
• Vor Inbetriebnahme der neuen Leitung spülen

Aufbau einer VMB / VMP

Ein typisches Panel enthält einen Gasflaschenanschluss, ein Hochdruckabsperrventil, einen Regler, ein Prozess-Membranventil, ein Spül-Membranventil, ein Entlüftungs-Rückschlagventil und ein Dreiwege-Umschaltventil. Verriegelungen erzwingen die Reihenfolge der Schritte und weisen die Ventilstellung nach, bevor Prozessgas zugelassen wird.

• Absperr-, Regel-, Prozess-, Spül- und Entlüftungsventile
• Verriegelte Spül- und Entlüftungs-Sequenz
• Positionsrückmeldung bei betätigten Ventilen

Benötigte Auslegungsdaten

Um einen Verteiler zu konfigurieren, benötigen wir die Gasliste, die Anzahl der Quellen und Ausgänge, den Lieferdruck, den Durchflussbedarf, das Spülschema, die verfügbare Instrumentenluft und das Sicherheits-/Verriegelungskonzept des Standorts. Diese Angaben im Voraus zu machen, vermeidet Nacharbeit an bereits geschweißten Paneelen.

• Gasliste und Konzentrationen
• Quellen- und Ausgangsanzahl
• Ausgangsdruck und Durchfluss
• Verriegelungs- und ESD-Konzept

Typische Spezifikationen

Häufig gestellte Fragen