MOCVD- und LED-Prozessgas
MOCVD-Anlagen schalten schnell zwischen Prekursor- und Spülströmen um, häufig bei erhöhter Temperatur und unter Vakuum. Die Ventile in diesen Leitungen müssen ein geringes Totvolumen, schnelle Ansprechzeit und keine Hohlräume aufweisen, die einen vorherigen Prekursor zurückhalten.
Valonix Drei-Wege-Umschaltventile, Dosierventile und UHP-Membranventile werden auf metallorganischen Quellenleitungen, Hydrid-Versorgung, Ammoniak- und Wasserstoff-Trägergaszweigen eingesetzt.
Schnelles, sauberes Umschalten
Ein Drei-Wege-Membranventil ersetzt ein T-Stück plus zwei Ventile an einem Betrieb/Entlüftungs-Zweig, reduziert Totvolumen und verkürzt die zwischen Lagen nötige Spülung. Das beeinflusst direkt die Grenzschärfe beim epitaktischen Wachstum.
- Drei-Anschluss Betrieb/Entlüftung Umschaltung
- Geringes Innenvolumen
- Kurzes Spülen zwischen Wachstumsschritten
Precursor- und Hydrid-Handhabung
Metallorganische Vorläufer und Hydride erfordern strikt kompatible medienberührte Werkstoffe und eine dichte Absperrung. Dosierventile mit Cv 0.019 stellen geringe Vorläuferströme ein; normal geschlossene Pneumatikventile sichern den Sicherheitszustand auf Hydridleitungen.
- Feindosierspindeln für Precursor-Durchflüsse
- Normal geschlossene Hydrid-Absperrung
- Materialverträglichkeit je Gas angegeben
Vakuum und Temperatur
MOCVD-Linien zyklisieren zwischen Vakuum und Überdruck, und manche sind beheizt. Balgdichtungsventile werden spezifiziert, wo Temperatur oder aggressive Chemie ein Membranventil ungeeignet machen.
- Vakuum-Zyklusfähigkeit
- Beheizte Leitungen: Hinweise
- Balgventile für aggressive/heiße Medien
Empfohlene Ventilfamilien
Drei-Wege-Membranventile
Drei-Anschluss-UHP-Membranventile für Prozess/Spül/Entlüftungs-Umschaltung in Spezialgas-Panels
Dosier- und Nadelventile
Hochreine Dosier- und Nadelventile für präzise Spezialgas-Durchflussregelung
Balgdichtungsventile
Balgdichtungsventile für toxische, korrosive und heiße Spezialgase
Häufig gestellte Fragen
Warum an einem MOCVD-Betrieb/Entlüftungs-Zweig ein Drei-Wege-Ventil?
Es entfernt das T-Stück und zusätzliche Verbindungen und reduziert Totvolumen sowie Spülzeit zwischen Epitaxielagen.
Welches Ventil regelt geringsten Precursor-Durchfluss?
Ein Feindosierventil mit Cv rund 0.019 liefert die Auflösung, die niedrige Precursor-Durchflüsse brauchen.