Photovoltaik- und Solarzellen-Fertigung

Veröffentlicht 2026-11-05 · Aktualisiert 2026-11-05 · Valonix Engineering

Die Photovoltaik-Zellproduktion verbraucht große Mengen Silan, Ammoniak, Stickstoffoxid und Stickstoff in PECVD-, Diffusions- und Dünnschichtabscheideanlagen. Die Leitungsquerschnitte sind oft größer als in Halbleiterfabriken, daher sind Durchflusskapazität und Druckstabilität ebenso entscheidend wie die letztliche Reinheit.

Valonix liefert Hochdurchfluss-UHP-Membranventile, Regler und Rückschlagventile für diese Verteilungssysteme, mit Stumpfschweiß- und Flächendichtungs-Enden für dauerhafte Sammelrohre wie für wartbare Tool-Anschlüsse.

Hochdurchfluss-Verteilung

Solar-Linien fahren typischerweise 1/2 bis 1 Zoll Verteilungs-Sammelrohre. Ein Cv 0.70 Ventil im Zweig und ein Cv 2.8-3.5 Ventil im Sammelrohr halten den Druckabfall niedrig bei gleichzeitig sauberem, spülbarem Durchflusskanal.

• Cv 0.70-0.80 Zweigventile
• Cv 2.8-3.5 Sammelrohrventile
• 1/2 bis 1 Zoll VCR- und Stumpfschweiß-Anschlüsse

Silan-Sicherheit

Silan ist pyrophor. Panels sollten normal geschlossene Pneumatikventile, eigene Spülzweige, Rückschlagventile in der Spülversorgung und verriegelte Entlüftungswege verwenden. Die Stellungsrückmeldung erlaubt es der Steuerung, den Sicherheitszustand vor einem Prozessschritt nachzuweisen.

• Normal geschlossene pneumatische Absperrung
• Verriegelte Spülung und Entlüftung
• Positionsrückmeldung für die Steuerung

Kosten pro Leitung ohne Reinheitsverlust

PV-Fabs fahren viele parallele Linien, daher ist die Ventilanzahl hoch. Die Nutzung einer Ventilfamilie über alle Größen vereinfacht Ersatzteile, reduziert Qualifizierungsaufwand und hält den medienberührten Standard in der ganzen Anlage konsistent.

• Eine Ventilfamilie für alle Größen
• Gängige Ersatzteile und Wartungsverfahren
• Einheitlicher medienberührter Werkstoffstandard

Empfohlene Ventilfamilien

Häufig gestellte Fragen