Drei-Wege-Membranventile
Ein Dreiwege-Membranventil ersetzt zwei oder drei einzelne Absperrventile dort, wo eine Gasleitung zwischen Prozess, Spülung und Entlüftung umgeschaltet werden muss. Weniger Gehäuse bedeuten weniger Schweißnähte, geringeres Totvolumen und einen einfacher zu prüfenden Leckumfang.
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Valonix-Dreiwegeventile werden in Zylinderumschaltpaneelen, für die Spülabfolge in VMB/VMP-Anlagen und in Umleitungsleitungen bei MOCVD-Anlagen eingesetzt. Sie sind in manueller und pneumatischer Ausführung mit VCR-Flächendichtung oder Stumpfschweißenden erhältlich.
Schaltungstopologie
Der gemeinsame Anschluss wird normalerweise an die Prozessquelle geführt, während die beiden Ausgangsanschlüsse der Prozessversorgung und der Spülung/Entlüftung zugeordnet sind. Bestätigen Sie die Ausrichtung des Strömungswegs auf dem Datenblatt: Ein Dreiwegeventil ist kein Mischventil, und die Fließrichtung beeinflusst die Sitzbelastung.
- Ein gemeinsamer plus zwei geschaltete Anschlüsse
- Prozess/Spül- oder Prozess/Entlüftungs-Führung
- Durchflussrichtung bei Bestellung angeben
Spülsequenz und Kreuzkontamination
Das Umschalten zwischen unverträglichen Gasen ist der risikoreichste Vorgang in einem Spezialgassystem. Das Ventil muss den Prozessanschluss vollständig isolieren, bevor der Spülanschluss öffnet. Pneumatische Ausführungen mit Stellungsrückmeldung erleichtern den Nachweis der Abfolge gegenüber der Anlagensteuerung.
- Unterbrechen-vor-Schließen-Umschaltverhalten
- Positionsrückmeldung als Verriegelungsnachweis
- Geringes Innenvolumen verkürzt Spülzeit
Auslegung und Druck
Dreiwege-Membranventile werden üblicherweise mit 1/4-, 3/8- und 1/2-in-Anschlüssen, einem Cv um 0.3 und einem Betriebsdruck von 145-300 PSI geliefert. Pneumatische Umschaltversionen benötigen eine 70-125 PSI Antriebsversorgung, höher als bei einem Standard-Zweiwegeventil.
- 1/4, 3/8 und 1/2 Zoll VCR-Anschlüsse
- Cv ca. 0.3
- 145-300 PSI Betriebsdruck
Typische Spezifikationen
| Anschlüsse | 3 Anschlüsse, 1 gemeinsam + 2 geschaltet |
|---|---|
| Anschlussgrößen | 1/4", 3/8", 1/2" |
| Cv | 0.3 |
| Betriebsdruck | 145-300 PSI |
| Antriebsversorgung | 70-125 PSI pneumatisch |
| Endanschlüsse | VCR-Flächendichtung, Stumpfschweißung |
Häufig gestellte Fragen
Kann ein Drei-Wege-Membranventil zwei Gase mischen?
Nein. Es ist ein Umleit-/Umschaltventil. Mischen braucht einen eigenen Mischer mit geregelten Durchflusskanälen.
Warum ist der Antriebsdruck höher als bei einem Standard-Pneumatikventil?
Der Umschaltmechanismus bewegt sich zwischen zwei Sitzen und braucht zusätzlichen Schub, daher die 70-125 PSI Versorgung.
Reduziert ein Drei-Wege-Ventil Leckstellen?
Ja. Der Ersatz von zwei Ventilen und ihrem Verbindungs-T-Stück durch ein Gehäuse entfernt mehrere Schweiß- oder Flächendichtungsverbindungen aus dem Prüfumfang.