UHP-Ventil-Heliumleckraten-Standard

Veröffentlicht 2026-11-05 · Aktualisiert 2026-11-05 · Valonix Engineering

Ein Helium-Lecktest ist die Abnahmemessung, die ein sauberes Ventil zu einem qualifizierten UHP-Ventil macht. Er wird mit einem Massenspektrometer-Leckdetektor durchgeführt, entweder durch Evakuieren des Ventils und Besprühen von außen mit Helium (Innenleckage) oder durch Beaufschlagen einer Seite mit Helium und Messen am Sitz (Sitzleckage).

Inboard- und Sitzübergreifend-Prüfung sind verschieden

Die Innenleckage misst die Dichtigkeit von Gehäuse, Membran und Spindelbegrenzung gegenüber der Atmosphäre. Die Sitzleckage misst, wie gut das geschlossene Ventil die Ausgangsseite isoliert. Beide gehören in die Spezifikation; nur eine anzugeben lässt die Hälfte des Ventils ungeprüft.

Warum Helium

Helium ist inert, hat einen kleinen Atomradius und kommt in Luft nur in Spuren vor, sodass der Detektor einen sehr niedrigen Untergrund sieht. Es ist ein konservativer, wiederholbarer Tracer für Systeme, die Wasserstoff, Silan oder andere Kleinmolekülgase führen.

Abnahmekriterien festlegen

Geben Sie Prüfverfahren, Prüfdruck, Richtung, zulässige Leckrate und an, ob die Prüfung bei Raumtemperatur und nach Zyklen durchgeführt wird. Fordern Sie ein pro-Ventil-Protokoll statt einer Chargenbescheinigung an, wenn die Panels von einer Fabrik qualifiziert werden.

Leckrate gegen Systemreinheit

Ein dichtes Ventil ist notwendig, aber nicht hinreichend. Feuchtigkeit und Partikel aus Montage, Verpackung und Installation beherrschen weiterhin die tatsächliche Kontamination, daher gehört die Leckprüfung neben Elektropolieren, Reinraummontage und Doppelbeutelverpackung dazu.

Nachprüfung vor Ort

Prüfen Sie nach dem Schweißen oder Wiedermontage einer Flächendichtung die betroffene Verbindung erneut. Ein im Werk geprüftes Ventil kann nach dem Einbau lecken, wenn eine Dichtung versetzt sitzt oder eine Schweißnaht porös ist.

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