VX12 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil
Drei-Viertel-Zoll-Hochleistungsventil mit Cv 2.8 für Verteilungs-Sammelrohre und VMB-Ausgangsabschnitte.
Entwickelt für ultrahochreiner Spezialgasbetrieb, der VX12-LP gehört zu den UHP-Membranventile Familie für Absperrung, Umschaltung und Durchflussregelung.
VX12 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil Übersicht
Der VX12-LP ist ein Hochreinheits-Spezialgasventil mit 3/4-Anschlüssen, einem Durchflusskoeffizienten von 2.8 und einem maximalen Betriebsdruck von 300 PSI. Drei-Viertel-Zoll-Hochdurchflussventil mit Cv 2.8 für Verteilungsstränge und VMB-Ausgangsabschnitte. Es ist für die Stelle in einem Hochreinheits-Gassystem vorgesehen, an der eine saubere, wiederholbare Absperr- oder Umschaltfunktion benötigt wird, ohne eine gepackte Spindeldichtung in den Prozessstrom einzubringen.
Eine mehrlagige Metallmembran wird zwischen Gehäuse und Oberteil eingeklemmt und bildet eine hermetische Barriere zwischen Prozessgas und Antrieb. Es gibt keine gleitende Spindeldichtung, keine Packung und kein Schmiermittel im medienberührten Weg, wodurch Partikelbildung und eingeschlossenes Volumen extrem gering bleiben. Ein kurzer, glatter Strömungsweg und ein geringes Innenvolumen machen Spülzyklen schnell, was entscheidend ist, wenn eine Leitung zwischen reaktiven Gasen wechselt. Verfügbare Endanschlüsse sind vcr-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung, sodass derselbe Körper für flächendichtige Anlagenanschlüsse, geschweißte Verteilungsstränge oder vor Ort installierte Instrumentenleitungen verwendet werden kann.
Hauptmerkmale und Konstruktionsvorteile
- 3/4 Anschlüsse, Cv 2.8 — ausgelegt für 3/4 Membranventil Cv 2.8 Durchfluss ohne übermäßiges Totvolumen
- 300 PSI maximaler Betriebsdruck mit verstärktem Sitz und heliumgeprüftem Druckbereich
- Eine mehrschichtige Metallmembran wird zwischen Gehäuse und Oberteil eingeklemmt und bildet eine hermetische Barriere zwischen Prozessgas und Antrieb.
- Elektropolierte medienberührte Flächen für schnelle Trocknung und geringe Feuchtigkeitsrückhaltung
- Manuelle oder normal geschlossene Pneumatik-Betätigung; Pneumatikversionen schließen bei Verlust der Instrumentenluft.
- VCR, Stumpfschweißung, Klemm- oder flaschennormale Endanschlüsse passend zur Installation
- Reinraum-Montage, Doppelbeutel-Verpackung und Prüfprotokolle pro Ventil verfügbar
Technische Spezifikationen
| Anschlussgröße | 3/4 |
|---|---|
| Endanschlüsse | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung |
| Cv | 2.8 |
| Max. Betriebsdruck | Manuell: 300 PSI, Pneumatisch: 300 PSI |
| Antriebsversorgung | 60-90 PSI |
| Modellcode | VX12-LP |
| Produktfamilie | UHP-Membranventile |
| Gehäusematerial | 316L VIM/VAR Edelstahl, einschlussarm |
| Dichtungselement | Mehrschichtige 316L-Metallmembran, Nickellegierungsoption für Halogenide |
| Medienberührte Oberflächengüte | Elektropoliert, typisch Ra 0.25 µm (10 µin) oder besser |
| Dichtheitsprüfung | Helium-Massenspektrometer, inboard und über Sitz; typisch 1 x 10^-9 mbar l/s |
| Betriebstemperatur | Typisch -10 °C bis +80 °C manuell, -10 °C bis +65 °C pneumatisch |
| Betätigung | Manuelles Handrad oder normal geschlossene Pneumatik, 60-90 PSI Instrumentenluft |
| Sauberkeit | Gereinigt, getrocknet und montiert für ultrahochreinen Gasbetrieb |
| Verpackung | Reinraum-Doppelbeutel, installierungsversiegelt |
| Dokumentation | Werkstoffzertifikat, Helium-Prüfprotokoll, Konformitätsbescheinigung |
Die obigen Werte beschreiben die Standardkonfiguration des Modells VX12-LP. Endgültige Werkstoffe, Sitz, Betätigung, Prüfgrenzen und Zertifizierung werden auf dem auftragsbezogenen Datenblatt bestätigt, das mit Ihrem Angebot ausgestellt wird.
Modellvergleich innerhalb der UHP-Membranventil-Familie
Wählen Sie das Gehäuse nach dem Durchflussbedarf und nicht allein nach der Anschlussgröße. Die nachstehende Tabelle vergleicht den VX12-LP mit verwandten Modellen anhand der drei Parameter, die ein Gassystemdesign bestimmen: Anschlussgröße, Durchflusskoeffizient und maximaler Betriebsdruck.
Aufbau und medienberührte Werkstoffe
Eine mehrlagige Metallmembran wird zwischen Gehäuse und Oberteil eingeklemmt und bildet eine hermetische Barriere zwischen Prozessgas und Antrieb. Es gibt keine gleitende Spindeldichtung, keine Packung und kein Schmiermittel im medienberührten Weg, wodurch Partikelbildung und eingeschlossenes Volumen extrem gering bleiben. Für den VX12-LP wird der medienberührte Weg aus 316L VIM/VAR-Edelstahl mit geringem Einschlussgehalt und kontrolliertem Schwefelgehalt bearbeitet und anschließend elektropoliert. Eine Nickel-basierte Membran- oder Sitzlegierung kann dort eingesetzt werden, wo Halid- oder Hydridgase dies erfordern.
| Komponente | Standardausführung |
|---|---|
| Gehäuse | 316L VIM/VAR Edelstahl-Stangenmaterial |
| Medienberührte Oberfläche | Elektropoliert, typisch Ra 0.25 µm (10 µin) oder besser |
| Dichtungselement | Mehrschichtige 316L-Metallmembran, Nickellegierungsoption für Halogenide |
| Antrieb | Manuelles Handrad oder normal geschlossener Pneumatikkolben, 60-90 PSI Versorgung |
| Prozessanschluss | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung |
Endanschlüsse und Anschlussoptionen
Der VX12-LP wird in der Regel mit 3/4 Anschlüsse bestellt. Die Wahl der Verbindung beeinflusst sowohl die Sauberkeit als auch die Wartungsfreundlichkeit: VCR-Flächendichtungen ergeben eine wiederholbare Metall-auf-Metall-Dichtung für den Anschluss an Anlagen, orbitale Stumpfschweißnähte eignen sich für permanente Hochreinheits-Verteilungsleitungen, und Klemmverbindungen werden dort verwendet, wo eine Leitung vor Ort montiert werden muss.
| Parameter | Verfügbare Option |
|---|---|
| Standardanschluss | 3/4 |
| Endanschlüsse | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung |
| Dichtungsstandard | VCR-Flächendichtung / orbitale Stumpfschweißung / Klemmverbindung / CGA oder DISS für Flaschenbetrieb |
| Betätigung | Manuell oder normal geschlossene Pneumatik mit 60-90 PSI Instrumentenluft |
| Optionale Dokumentation | Werkstoffzertifikat, Helium-Prüfprotokoll, Konformitätsbescheinigung |
Gasverträglichkeit und typische Anwendungen
Modell VX12-LP wird für Silan (SiH4), Ammoniak (NH3), Chlorwasserstoff (HCl), Chlor (Cl2), Stickstofftrifluorid (NF3), Wolframhexafluorid (WF6) sowie hochreines N2, Ar, He und H2 gewählt. Geben Sie stets Konzentration, Temperatur und etwaige Feuchte- oder Sauerstoffgrenzen an, damit die medienberührte Legierung und der Sitz vor der Freigabe bestätigt werden können.
- Tool-Anschluss und Flaschenschrank-Zweigabsperrung in der Fab
- Ventilverteilerkästen, Umschaltpanels und Spül-/Entlüftungs-Zweige
- Hochreine Labor-, Analysengeräte- und Kalibriergasleitungen
- Photovoltaik-, MOCVD- und Wasserstoff-Verteilungssysteme
- Verwandte Anwendungsleitfäden:
- Halbleiter-Fab-Gasversorgung
- Photovoltaik- und Solarzellen-Fertigung
- Korrosive und toxische Spezialgase
Installation, Spülung und Handhabung
Installieren Sie den VX12-LP gemäß der auf der freigegebenen Zeichnung angegebenen Durchflussrichtung und Portausrichtung. Lassen Sie die Schutzkappen bis zum Fügen der Verbindung aufgesetzt, ziehen Sie Dichtungsverschraubungen mit dem vorgeschriebenen Drehmoment an und spülen Sie vor Einleitung des Prozessgases mit trockenem Inertgas. Wegen des geringen Innenvolumens genügt normalerweise ein kurzer zyklischer Spülvorgang, um die geforderte Feuchtigkeit zu erreichen.
- Mit sauberen Handschuhen in geregeltem Bereich handhaben; Doppelbeutel erst bei Installation öffnen
- Verwenden Sie Orbitalschweißung oder zertifizierte Flächendichtungsverschraubungen an hochreinen Sammelrohren
- Mit trockenem N2 oder Ar spülen und Feuchtigkeit / Sauerstrom vor Prozessgas upstream prüfen
- Helium-Dichtheitsprüfung der montierten Verbindung, dann Inboard- und Sitzübergreifend-Prüfung
- Seriennummer, Prüfergebnis und Gasbetrieb im Anlagendossier erfassen
Bestellung und Konfiguration
Geben Sie Modellcode und die untenstehenden Optionen an. Ist ein Gas korrosiv oder pyrophor, nennen Sie die Konzentration, damit Membran- oder Sitzlegierung auf den Dienst abgestimmt werden können.
| Bestellparameter | Ihre Auswahl |
|---|---|
| Basismodell | VX12-LP — VX12 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil |
| Anschlussgröße | 3/4 |
| Endanschluss | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung |
| Betätigung | Manuelles Handrad / normal geschlossene Pneumatik (60-90 PSI) |
| Medienberührte Legierung | 316L VIM/VAR Standard, Nickellegierung je nach Gasverträglichkeit |
| Dokumentation | Werkstoffzertifikat, Helium-Prüfprotokoll, CoC (bei Bedarf angeben) |
Bereit, den VX12-LP zu spezifizieren?
Senden Sie Gas, Druck, Durchfluss und Anschlussdetails — wir bestätigen Modell, Werkstoffe und Lieferzeit.
Verwandte Modelle und Alternativen
Andere Ventile in der UHP-Membranventil-Familie und angrenzende Gruppen, die für einen anderen Cv, Druck oder Anschlussbedarf passen könnten.
VX4-LPVX4 Niederdruck-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8
- Max. Druck300 PSI
- Cv0.27
VX8-LPVX8 Niederdruck-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1/2
- Max. Druck300 PSI
- Cv0.70
VX16-LPVX16 Hochdurchfluss-UHP-Membranventil
- Anschlussgröße1 Zoll
- Max. Druck300 PSI
- Cv3.5
VX4H-HPVX4H Hochdruck-Membranventil
- Anschlussgröße1/4
- Max. Druck4500 PSI
- Cv0.20
Häufig gestellte Fragen
Welche sind die wichtigsten technischen Daten des VX12-LP?
Der VX12-LP wird mit 3/4-Anschlüssen, einem maximalen Betriebsdruck von 300 PSI und einem Cv von 2.8 geliefert. Die Endanschlüsse sind vcr-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung. Die vollständige Spezifikationstabelle auf dieser Seite führt Werkstoffe, Leckprüfung, Betätigung und Sauberkeitsanforderungen auf.
Ist der VX12-LP für korrosive oder toxische Spezialgase geeignet?
Er wird mit Silan (SiH4), Ammoniak (NH3), Chlorwasserstoff (HCl), Chlor (Cl2), Stickstofftrifluorid (NF3), Wolframhexafluorid (WF6) und hochreinem N2, Ar, He und H2 eingesetzt. Die Verträglichkeit hängt von der medienberührten Legierung und dem Dichtelement ab, daher geben Sie bei der Angebotsanfrage das Gas und die Konzentration an, und wir bestätigen die Werkstoffwahl.
Wie wird der VX12-LP betätigt und welcher Sicherheitszustand besteht?
Standardkonfigurationen sind ein manuelles Handrad oder ein normal geschlossener Pneumatikantrieb mit 60-90 PSI Instrumentenluft. Pneumatische Ausführungen schließen bei Luftverlust, was für die meisten Gas-Schrank- und Anlagenanschluss-Absperrpunkte der geforderte Sicherheitszustand ist.
Wie bestelle ich den VX12-LP?
Bieten Sie das Modell VX12-LP zusammen mit der Gasliste, dem Betriebsdruck, dem erforderlichen Cv, der Anschlussgröße, dem Endanschluss und der Betätigung. Werkstoffzertifikate, heliumgeprüfte Prüfprotokolle pro Ventil und eine Konformitätsbescheinigung können mit der Bestellung geliefert werden.