VMU Hochreines Dosierventil
Fein kegelige Dosierspindel mit Cv 0.019 für Niedrigdurchfluss-Trägergas, Kalibrier- und Analysator-Probenahmleitungen.
Entwickelt für ultrahochreiner Spezialgasbetrieb, der VMU gehört zu den Dosier- und Nadelventile Familie für Absperrung, Umschaltung und Durchflussregelung.
VMU Hochreines Dosierventil Übersicht
Der VMU ist ein Hochreinheits-Spezialgasventil mit 1/4-, 1/2-, 6-mm-Anschlüssen, einem Durchflusskoeffizienten von Dosierspindel 0.019, Reglerspindel 0.30 und einem maximalen Betriebsdruck von 700 PSI. Feinkonus-Dosierspindel mit Cv 0.019 für Trägergas-, Kalibrier- und Analysator-Probenahmelinien mit geringem Durchfluss. Es ist für die Stelle in einem Hochreinheits-Gassystem vorgesehen, an der eine saubere, wiederholbare Absperr- oder Umschaltfunktion benötigt wird, ohne eine gepackte Spindeldichtung in den Prozessstrom einzubringen.
Der medienberührte Strömungsweg ist kurz und glatt gehalten, mit einem für das Gas gewählten Metall- oder Hartpolymer-Dichtelement. Sitze und Verschlüsse werden auf eine kontrollierte Oberfläche bearbeitet, damit das Ventil schnell gespült werden kann und zwischen Prozesszyklen keine Feuchtigkeit zurückhält. Ein kurzer, glatter Strömungsweg und ein geringes Innenvolumen machen Spülzyklen schnell, was entscheidend ist, wenn eine Leitung zwischen reaktiven Gasen wechselt. Verfügbare Endanschlüsse sind vcr-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung, Klemmverbindung, Muffenschweißung, sodass derselbe Körper für flächendichtige Anlagenanschlüsse, geschweißte Verteilungsstränge oder vor Ort installierte Instrumentenleitungen verwendet werden kann.
Hauptmerkmale und Konstruktionsvorteile
- 1/4, 1/2, 6 mm Anschlüsse, Cv Dosierspindel 0.019, Regelspindel 0.30 — ausgelegt für hochreines Dosierventil Cv 0.019 Durchfluss ohne übermäßiges Totvolumen
- 700 PSI maximaler Betriebsdruck mit verstärktem Sitz und heliumgeprüftem Druckbereich
- Der medienberührte Durchflusskanal ist kurz und glatt gehalten, mit einem für das Gas gewählten Metall- oder Hartpolymer-Dichtungselement.
- Elektropolierte medienberührte Flächen für schnelle Trocknung und geringe Feuchtigkeitsrückhaltung
- Manuelle oder normal geschlossene Pneumatik-Betätigung; Pneumatikversionen schließen bei Verlust der Instrumentenluft.
- VCR, Stumpfschweißung, Klemm- oder flaschennormale Endanschlüsse passend zur Installation
- Reinraum-Montage, Doppelbeutel-Verpackung und Prüfprotokolle pro Ventil verfügbar
Technische Spezifikationen
| Anschlussgröße | 1/4, 1/2, 6mm |
|---|---|
| Endanschlüsse | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung, Klemm-, Muffenschweißung |
| Cv | Dosierspindel 0.019, Regelspindel 0.30 |
| Max. Betriebsdruck | 700 PSI |
| Modellcode | VMU |
| Produktfamilie | Dosier- und Nadelventile |
| Gehäusematerial | 316L VIM/VAR Edelstahl, einschlussarm |
| Dichtungselement | Metallsitz mit PCTFE / PTFE oder Hartpolymer-Dichtungselement je nach Gas |
| Medienberührte Oberflächengüte | Elektropoliert, typisch Ra 0.25 µm (10 µin) oder besser |
| Dichtheitsprüfung | Helium-Massenspektrometer, inboard und über Sitz; typisch 1 x 10^-9 mbar l/s |
| Betriebstemperatur | Typisch -10 °C bis +80 °C manuell, -10 °C bis +65 °C pneumatisch |
| Betätigung | Manuelles Handrad oder normal geschlossene Pneumatik, 60-90 PSI Instrumentenluft |
| Sauberkeit | Gereinigt, getrocknet und montiert für ultrahochreinen Gasbetrieb |
| Verpackung | Reinraum-Doppelbeutel, installierungsversiegelt |
| Dokumentation | Werkstoffzertifikat, Helium-Prüfprotokoll, Konformitätsbescheinigung |
Die obigen Werte beschreiben die Standardkonfiguration des Modells VMU. Endgültige Werkstoffe, Sitz, Betätigung, Prüfgrenzen und Zertifizierung werden auf dem auftragsbezogenen Datenblatt bestätigt, das mit Ihrem Angebot ausgestellt wird.
Modellvergleich innerhalb der Dosier- und Nadelventil-Familie
Wählen Sie das Gehäuse nach dem Durchflussbedarf und nicht allein nach der Anschlussgröße. Die nachstehende Tabelle vergleicht den VMU mit verwandten Modellen anhand der drei Parameter, die ein Gassystemdesign bestimmen: Anschlussgröße, Durchflusskoeffizient und maximaler Betriebsdruck.
| Modell | Anschluss | Cv | Max. Druck |
|---|---|---|---|
| VMG | 1/4, 1/2, 6mm | Dosierspindel 0.019, Regelspindel 0.30 | 700 PSI |
| NV | 1/4, 3/8, 1/2 | - | - |
Aufbau und medienberührte Werkstoffe
Der medienberührte Strömungsweg ist kurz und glatt gehalten, mit einem für das Gas gewählten Metall- oder Hartpolymer-Dichtelement. Sitze und Verschlüsse werden auf eine kontrollierte Oberfläche bearbeitet, damit das Ventil schnell gespült werden kann und zwischen den Prozesszyklen keine Feuchtigkeit zurückhält. Für den VMU wird der medienberührte Weg aus 316L VIM/VAR-Edelstahl mit geringem Einschlussgehalt und kontrolliertem Schwefelgehalt bearbeitet und anschließend elektropoliert. Eine Nickel-basierte Membran- oder Sitzlegierung kann dort eingesetzt werden, wo Halid- oder Hydridgase dies erfordern.
| Komponente | Standardausführung |
|---|---|
| Gehäuse | 316L VIM/VAR Edelstahl-Stangenmaterial |
| Medienberührte Oberfläche | Elektropoliert, typisch Ra 0.25 µm (10 µin) oder besser |
| Dichtungselement | Metallsitz mit PCTFE / PTFE oder Hartpolymer-Dichtungselement je nach Gas |
| Antrieb | Manuelles Handrad oder normal geschlossener Pneumatikkolben, 60-90 PSI Versorgung |
| Prozessanschluss | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung, Klemm-, Muffenschweißung |
Endanschlüsse und Anschlussoptionen
Der VMU wird in der Regel mit 1/4, 1/2, 6mm Anschlüsse bestellt. Die Wahl der Verbindung beeinflusst sowohl die Sauberkeit als auch die Wartungsfreundlichkeit: VCR-Flächendichtungen ergeben eine wiederholbare Metall-auf-Metall-Dichtung für den Anschluss an Anlagen, orbitale Stumpfschweißnähte eignen sich für permanente Hochreinheits-Verteilungsleitungen, und Klemmverbindungen werden dort verwendet, wo eine Leitung vor Ort montiert werden muss.
| Parameter | Verfügbare Option |
|---|---|
| Standardanschluss | 1/4, 1/2, 6mm |
| Endanschlüsse | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung, Klemm-, Muffenschweißung |
| Dichtungsstandard | VCR-Flächendichtung / orbitale Stumpfschweißung / Klemmverbindung / CGA oder DISS für Flaschenbetrieb |
| Betätigung | Manuell oder normal geschlossene Pneumatik mit 60-90 PSI Instrumentenluft |
| Optionale Dokumentation | Werkstoffzertifikat, Helium-Prüfprotokoll, Konformitätsbescheinigung |
Gasverträglichkeit und typische Anwendungen
Modell VMU wird für hochreines N2, Ar, He, H2, O2 sowie korrosive Hydrid- oder Halidmischungen gewählt, wenn die medienberührte Legierung auf das Gas abgestimmt ist. Geben Sie stets Konzentration, Temperatur und etwaige Feuchte- oder Sauerstoffgrenzen an, damit die medienberührte Legierung und der Sitz vor der Freigabe bestätigt werden können.
- Tool-Anschluss und Flaschenschrank-Zweigabsperrung in der Fab
- Ventilverteilerkästen, Umschaltpanels und Spül-/Entlüftungs-Zweige
- Hochreine Labor-, Analysengeräte- und Kalibriergasleitungen
- Photovoltaik-, MOCVD- und Wasserstoff-Verteilungssysteme
- Verwandte Anwendungsleitfäden:
- MOCVD- und LED-Prozessgas
- Labor- und Analysegeräte-Gas
Installation, Spülung und Handhabung
Installieren Sie den VMU gemäß der auf der freigegebenen Zeichnung angegebenen Durchflussrichtung und Portausrichtung. Lassen Sie die Schutzkappen bis zum Fügen der Verbindung aufgesetzt, ziehen Sie Dichtungsverschraubungen mit dem vorgeschriebenen Drehmoment an und spülen Sie vor Einleitung des Prozessgases mit trockenem Inertgas. Wegen des geringen Innenvolumens genügt normalerweise ein kurzer zyklischer Spülvorgang, um die geforderte Feuchtigkeit zu erreichen.
- Mit sauberen Handschuhen in geregeltem Bereich handhaben; Doppelbeutel erst bei Installation öffnen
- Verwenden Sie Orbitalschweißung oder zertifizierte Flächendichtungsverschraubungen an hochreinen Sammelrohren
- Mit trockenem N2 oder Ar spülen und Feuchtigkeit / Sauerstrom vor Prozessgas upstream prüfen
- Helium-Dichtheitsprüfung der montierten Verbindung, dann Inboard- und Sitzübergreifend-Prüfung
- Seriennummer, Prüfergebnis und Gasbetrieb im Anlagendossier erfassen
Bestellung und Konfiguration
Geben Sie Modellcode und die untenstehenden Optionen an. Ist ein Gas korrosiv oder pyrophor, nennen Sie die Konzentration, damit Membran- oder Sitzlegierung auf den Dienst abgestimmt werden können.
| Bestellparameter | Ihre Auswahl |
|---|---|
| Basismodell | VMU — VMU Hochreines Dosierventil |
| Anschlussgröße | 1/4, 1/2, 6mm |
| Endanschluss | VCR-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung, Klemm-, Muffenschweißung |
| Betätigung | Manuelles Handrad / normal geschlossene Pneumatik (60-90 PSI) |
| Medienberührte Legierung | 316L VIM/VAR Standard, Nickellegierung je nach Gasverträglichkeit |
| Dokumentation | Werkstoffzertifikat, Helium-Prüfprotokoll, CoC (bei Bedarf angeben) |
Bereit, den VMU zu spezifizieren?
Senden Sie Gas, Druck, Durchfluss und Anschlussdetails — wir bestätigen Modell, Werkstoffe und Lieferzeit.
Verwandte Modelle und Alternativen
Andere Ventile in der Dosier- und Nadelventil-Familie und angrenzende Gruppen, die für einen anderen Cv, Druck oder Anschlussbedarf passen könnten.
VMGVMG Präzisions-Dosierventil
- Anschlussgröße1/4, 1/2, 6mm
- Max. Druck700 PSI
- CvDosierspindel 0.019
NVNV Hochreines Nadelventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 1/2
- Max. DruckAuf Anfrage
- CvAuf Anfrage
VB-HPVB-HP Balgdichtungsventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 6 mm, 8 mm
- Max. Druck350 PSI
- Cv0.3
VB8VB8 Niederdruck-Balgdichtungsventil
- Anschlussgröße1/2, 3/8, 10 mm, 12 mm
- Max. Druck500 PSI
- Cv0.80
VB4VB4 Niederdruck-Balgdichtungsventil
- Anschlussgröße1/4, 3/8, 6 mm, 8 mm
- Max. Druck500 PSI
- Cv0.3
Häufig gestellte Fragen
Welche sind die wichtigsten technischen Daten des VMU?
Der VMU wird mit 1/4-, 1/2-, 6-mm-Anschlüssen, einem maximalen Betriebsdruck von 700 PSI und einem Cv von Dosierspindel 0.019, Reglerspindel 0.30 geliefert. Die Endanschlüsse sind vcr-Flächendichtung (männlich/weiblich), Stumpfschweißung, Klemmverbindung, Muffenschweißung. Die vollständige Spezifikationstabelle auf dieser Seite führt Werkstoffe, Leckprüfung, Betätigung und Sauberkeitsanforderungen auf.
Ist der VMU für korrosive oder toxische Spezialgase geeignet?
Er wird mit hochreinem N2, Ar, He, H2, O2 sowie korrosiven Hydrid- oder Halidmischungen eingesetzt, wenn die medienberührte Legierung auf das Gas abgestimmt ist. Die Verträglichkeit hängt von der medienberührten Legierung und dem Dichtelement ab, daher geben Sie bei der Angebotsanfrage das Gas und die Konzentration an, und wir bestätigen die Werkstoffwahl.
Wie wird der VMU betätigt und welcher Sicherheitszustand besteht?
Standardkonfigurationen sind ein manuelles Handrad oder ein normal geschlossener Pneumatikantrieb mit 60-90 PSI Instrumentenluft. Pneumatische Ausführungen schließen bei Luftverlust, was für die meisten Gas-Schrank- und Anlagenanschluss-Absperrpunkte der geforderte Sicherheitszustand ist.
Wie bestelle ich den VMU?
Bieten Sie das Modell VMU zusammen mit der Gasliste, dem Betriebsdruck, dem erforderlichen Cv, der Anschlussgröße, dem Endanschluss und der Betätigung. Werkstoffzertifikate, heliumgeprüfte Prüfprotokolle pro Ventil und eine Konformitätsbescheinigung können mit der Bestellung geliefert werden.