Ventil-Installation & Spülpraxis
Ein UHP-Ventil kann in den letzten fünf Minuten der Installation kontaminiert werden. Handhabung, Verbindungsaufbau, Dichtheitsprüfung und Spülung erhalten die Reinheit, die im Werk in das Teil eingebaut wurde.
Annahme und Handhabung
Halten Sie Ventile bis zum Installationsmoment doppeltbeutelt und verschlossen. Öffnen Sie Beutel im Reinraum, tragen Sie saubere Handschuhe und legen Sie nie eine Flächendichtungsfläche auf eine Bank.
Die Verbindung herstellen
Setzen Sie eine neue Dichtung ein, richten Sie die Verschraubungen ohne Gewalt aus und ziehen Sie in Stufen auf das spezifizierte Drehmoment an. Prüfen Sie vor Schließen des Panels, dass Durchflusspfeil und Betätigungsausrichtung zur P&ID passen.
Dichtheitsprüfung vor dem Spülen
Druckprüfen und heliumprüfen Sie neue Verbindungen vor Einleitung des Prozessgases. Ein Leck erst nach Conditionierung des Systems zu finden, kostet weit mehr als jetzt.
Spülsequenz
Spülen Sie mit trockenem Inertgas durch die Prozess-, Spül- und Entlüftungszweige in der festgelegten Reihenfolge. Weisen Sie an Umschaltpaneelen nach, dass der Prozessanschluss isoliert ist, bevor sich der Spülanschluss öffnet, und prüfen Sie die Abfolge mit Stellungsrückmeldung.
Trocknung und Übergabe
Spülen Sie weiter, bis der spezifizierte Taupunkt erreicht ist, und erfassen Sie das Ergebnis. Übergeben Sie Dichtheits-, Spülprotokolle und Ventilseriennummern mit der Panel-Dokumentation.
Weiterführende Beiträge
VCR-Flächendichtung gegen Klemmverbindung
Vergleich von VCR-Flächendichtungen und Klemmverbindungen für Spezialgasleitungen: Dichtintegrität
Gasventileverteiler und VMB
Spezialgasventil-Verteilerkästen, Gasverteilertafeln und automatische Umschaltanlagen, gebaut
UHP-Ventil-Heliumleckraten-Standard
Wie die Helium-Massenspektrometer-Dichtheitsprüfung für UHP-Ventile spezifiziert wird: inboard gegen über Sitz
Spezialgas-Sicherheit & Materialverträglichkeit
Sicherheitsgrundsätze für Spezialgasventile: Gasverträglichkeit, Ausfall-Sicherheitszustand
So wählen Sie ein Spezialgasventil
Ein praktischer Auswahlleitfaden für Spezialgasventile: Gasverträglichkeit, Druck, Cv
Membranventil gegen Balgventil
Vergleich von UHP-Membranventilen und Balgdichtungsventilen für Spezialgas: Totvolumen, Temperatur
UHP-Ventil-Heliumleckraten-Standard
Wie die Helium-Massenspektrometer-Dichtheitsprüfung für UHP-Ventile spezifiziert wird: inboard gegen über Sitz
Häufig gestellte Fragen
Kann ich eine Flächendichtung nach Dichtheitsprüfung wiederverwenden?
Nein. Tauschen Sie es bei jedem Öffnen der Verbindung aus.
Was sollte bei der Übergabe erfasst werden?
Dichtheitsprüfergebnisse, Spül-/Trocknungsergebnisse, Ventilseriennummern und Dichtungswechselprotokolle.